卧式真空镀膜系统及其镀膜方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117845174 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202311540696.2 (22)申请日 2023.11.15 (71)申请人 安徽越好电子装备有限公司 地址 239050 安徽省滁州市南谯区乌衣镇 双迎路790号3栋 (72)发明人 江嘉　徐建柱　娄国明　沈纬徵　 郑博鸿　 (74)专利代理机构 杭州合信专利代理事务所 (普通合伙) 33337 专利代理师 沈自军 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图19页 (54)发明名称 卧式真空镀膜系统及其镀膜方法 (57)摘要 本申请公开了一种卧式真空镀膜系统，包括 依次排布的：进出料腔，具有供待镀膜工件进出 所述卧式真空镀膜系统的进出料口；工艺腔，用 于对所述待镀膜工件进行磁控溅射镀膜；加热 腔，用于在镀膜前对所述待镀膜工件进行加热； 传送组件，用于传送所述待镀膜工件进出入各腔 室；阴极室，用于安装靶材，其设置于所述工艺腔 内并位于所述传送组件的下方。本申请的卧式真 空镀膜系统，不仅有利于保持加热腔内的高洁净 度，进一步保证镀膜效果，且仅需布置一道十级 室的进出料室，极大降低了设备