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PCT发明

使用硼酸为掺杂物的单晶硅锭的制造方法及使用固相掺杂物的拉锭器设备

2023-04-28 09:57:41 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080053269.X
  • 公开（公告）日：2024-11-26
  • 公开（公告）号：CN114207193A
  • 申请人：环球晶圆股份有限公司
摘要：本发明公开用于制造单晶硅锭的方法。所述锭使用固相硼酸作为硼源用硼进行掺杂。硼酸可在锭生长期间用于反向掺杂所述锭。还公开使用固相掺杂物的拉锭器设备。所述固相掺杂物可经安置在经移动而更靠近熔融物的表面的容器中，或蒸发单元可用于从所述固相掺杂物制造掺杂物气体。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114207193 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202080053269.X R ·J ·菲利普斯　张楠　吴雨樵　 (22)申请日 2020.05.18 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限 责任公司 11287 (30)优先权数据 代理人 江葳 62/868,573 2019.06.28 US (51)Int.Cl. (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C30B 15/04 (2006.01) 2022.01.24 C30B 29/06 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/033364 2020.05.18 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/263455 EN 2020.12.30 (71)申请人 环球晶圆股份有限公司 地址 中国台湾新竹市科学工业园区工业东 二路8号 (72)发明人 W ·L ·卢特尔　 H ·斯雷德哈拉穆尔西　S

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