一种光学镜片镀膜方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117821906 A (43)申请公布日 2024.04.05 (21)申请号 202410085213.2 (22)申请日 2024.01.21 (71)申请人 江苏康美达光学有限公司 地址 212310 江苏省镇江市丹阳市开发区 金陵西路8号 (72)发明人 裘先富　裘云杰　裘云奇　 (74)专利代理机构 北京智帆金科知识产权代理 事务所(普通合伙) 16048 专利代理师 胡思敏 (51)Int.Cl. C23C 14/28 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种光学镜片镀膜方法 (57)摘要 本发明公开了一种光学镜片镀膜方法，该方 法采用镀膜系统进行工作，该系统包括信息模 块、测厚模块和处理模块，所述信息模块与测厚 模块和处理模块均电连接，所述信息模块用于对 膜层测厚的数据进行储存和统计，并进行分析计 算，所述测厚模块用于利用X射线进入膜层后的 衍射现象进行膜层的测厚，所述处理模块用于对 光学镜片执行准分子激光镀膜，所述处理模块包 括准分子激光发射器、金属靶材释放单元、激光 聚焦单元、基板承接座，所述金属靶材释放单元 与基板承接座机械连接，所述准分子激光发射器 与激光聚焦单元机械连接，所述准分子激光发射 A 器用于激发原子或分子产生激光，该方法解决了 6 当前实用性差的问题。 0 9 1 2 8 7 1