一种承载硅片方式的石墨舟

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114783923 A (43)申请公布日 2022.07.22 (21)申请号 202210413481.3 (22)申请日 2022.04.19 (71)申请人 深圳市石金科技股份有限公司 地址 518127 广东省深圳市宝安区燕罗街 道塘下涌工业区安润路2号101,201, 301 (72)发明人 尼广超　孙海龙　李文红　 (74)专利代理机构 佛山市君创知识产权代理事 务所(普通合伙) 44675 专利代理师 刘细华 (51)Int.Cl. H01L 21/673 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 一种新型承载硅片方式的石墨舟 (57)摘要 本发明公开了一种新型承载硅片方式的石 墨舟，包括石墨舟片、支撑装置以及硅片承载结 构；支撑装置包括两组导电安装架，多片石墨舟 片等间距平行安装在两组导电安装架之间；导电 安装架包括正极连接部和负极连接部；在相邻两 石墨舟片中，一片石墨舟片的两端均与正极连接 部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部 连接；硅片承载结构包括多根横向贯穿在石墨舟 上的中心陶瓷杆以及设置在相邻两片石墨舟片 之间的中心陶瓷套，中心陶瓷套套设在中心陶瓷 杆上；中心陶瓷套的