一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112575315 A (43)申请公布日 2021.03.30 (21)申请号 202011589985.8 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司 地址 315100 浙江省宁波市鄞州区云龙镇 石桥村 (72)发明人 王会会　林保璋　金補哲　田才忠　 (74)专利代理机构 上海领洋专利代理事务所 (普通合伙) 31292 代理人 俞晨波 (51)Int.Cl. C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) G01C 9/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 一种用于外延膜生长设备的基座水平调节 装置 (57)摘要 本发明公开了一种用于外延膜生长设备的 基座水平调节装置，包括基座水平调节装置，基 座水平调节装置由水平仪本体、空心金属球、电 机固定杆、水平调节螺丝一、水平调节螺丝二、顶 紧螺丝一和顶紧螺丝二组成，水平仪本体中部开 设有安装口且外侧开设有两组螺纹导向槽，安装 口与两组螺纹导向槽相连通，空心金属球活动设 置于安装口内，空心金属球的中部垂直安装有对 接槽口。本发明在于未改变基座水平仪大体结构 的情况下，增加了顶紧螺丝一和空心圆球体，加 装顶紧螺丝一，可以防止水平调节螺丝的滑动位 A 移，造成基座的不稳定性，增加一个空心圆球体， 5 套装在固定杆