定向均热板及芯片

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114485240 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210033500.X (22)申请日 2022.01.12 (71)申请人 清华大学 地址 100084 北京市海淀区清华园 (72)发明人 侯慧敏　郑泉水　吴晓敏　袁志平　 (74)专利代理机构 北京清亦华知识产权代理事 务所(普通合伙) 11201 专利代理师 黄德海 (51)Int.Cl. F28D 15/04 (2006.01) H01L 23/367 (2006.01) H01L 23/427 (2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图11页 (54)发明名称 定向均热板及芯片 (57)摘要 本发明公开了一种定向均热板及芯片。其 中，定向均热板包括热源板和冷源板，所述热源 板具有热点区域，所述热源板的热面设有超亲水 层；所述冷源板的冷面与所述热源板的所述热面 之间相对设置，所述冷源板和所述热源板之间设 有相变换热的工质；所述冷源板的所述冷面具有 非均匀微结构，用于在所述定向均热板工作时定 向调控所述冷面上冷凝液滴集中朝向所述热点 区域方向弹跳至所述热点区域，所述非均匀微结 构上形成有超疏水层。本发明定向均热板对热源 板的热点区域的冷却效果好，能够提高均热板的 热流密度。 A 0 4 2 5 8 4 4 1 1 N C CN 114485240 A 权　利　要　求