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PCT发明

负型感光性树脂组合物、以及使用其的聚酰亚胺及固化浮雕图案的制造方法

2023-05-28 12:53:01 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201980041387.6
  • 公开（公告）日：2024-09-24
  • 公开（公告）号：CN112334833A
  • 申请人：旭化成株式会社
摘要：提供可得到高的耐化学药品性和分辨率、且在高温保存试验后能够抑制在Cu层的与树脂层接触的界面产生空隙的负型感光性树脂组合物、及使用其的固化浮雕图案的形成方法。提供一种负型感光性树脂组合物，其包含：(A)以下的通式(1)所示的聚酰亚胺前体；(B)包含选自氨基甲酸酯键和脲键中的至少1者的化合物；以及(C)光聚合引发剂。式(1)中，X1、Y1、n1、R1和R2分别在本申请说明书中被定义。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112334833 A (43)申请公布日 2021.02.05 (21)申请号 201980041387.6 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事 务所(普通合伙) 11277 (22)申请日 2019.07.18 代理人 刘新宇　李茂家 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2018-143610 2018.07.31 JP G03F 7/027 (2006.01) 2018-147982 2018.08.06 JP C08F 2/50 (2006.01) 2018-243228 2018.12.26 JP C08F 290/14 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C08G 73/12 (2006.01) 2020.12.18 G03F 7/004 (

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