一种致密石英坩埚高纯涂层的制备方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116535245 A (43)申请公布日 2023.08.04 (21)申请号 202310507145.X (22)申请日 2023.05.08 (71)申请人 徐州协鑫太阳能材料有限公司 地址 221000 江苏省徐州市铜山经济开发 区钱江路2号 (72)发明人 苏成　王海果　邓亮亮　裴迎　 (74)专利代理机构 徐州新知科服知识产权代理 有限公司 32634 专利代理师 关思 (51)Int.Cl. C04B 41/89 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种致密石英坩埚高纯涂层的制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种制备致密石英坩埚高纯 涂层的方法。首先，按现有工艺制备熔融石英坩 埚，然后制备复合涂层浆料。接下来，在熔融石英 坩埚的四面和底部分别涂刷高纯浆料A和C，完成 涂层一和底部涂层二的制备。在四面和底楞R角 涂刷高纯浆料B，完成涂层三的刷涂。将熔融石英 坩埚放入中频感应反应炉中，在感应磁场内加热 涂层一、涂层二和涂层三，使其迅速生成50 ‑ 200um的碳化硅涂层。然后，向反应炉通入氮气， 控制炉压0 .15～0.2MPA，使涂层稳定＞1400℃。 反应放热，可自蔓延快速完成。反应结束后，放出 氮气，完成熔融石英坩埚高纯涂层的制作。与现 A 有技术相比 ，本申请的高纯涂层具有稳定致密性 5 好、低氧含量的优点，并且涂层的加热方法可以 4 2 5 精准快速地加热超