一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法及相关设备

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115976497 A (43)申请公布日 2023.04.18 (21)申请号 202211595935.X (22)申请日 2022.12.13 (71)申请人 深圳优普莱等离子体技术有限公司 地址 518000 广东省深圳市光明区光明街 道东周社区双明大道315号易方大厦 1308 (72)发明人 全峰　顾亚骏　蒋礼　 (74)专利代理机构 深圳市君胜知识产权代理事 务所(普通合伙) 44268 专利代理师 单姣　王永文 (51)Int.Cl. C23C 16/511 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 (54)发明名称 一种基于MPCVD设备的故障报警处理方法及 相关设备 (57)摘要 本发明公开了一种基于MPCVD设备的故障报 警处理方法及相关设备 ，涉及故障报警技术领 域，所述方法包括：获取MPCVD设备的当前工作参 数的数据，判断所述当前工作参数的数据是否超 出预设工作参数的数据范围，所述当前工作参数 包括紧急停机类参数和手动调控类参数；若所述 紧急停机类参数的数据超出预设工作参数的数 据范围 ，则进行报警和自动紧急停机操作；若所 述手动调控类参数的数据超出预设工作参数的 数据范围 ，则进行报警和提示操作人员手动处 理。本发明通过实时监控MPCVD设备的工作参数 A 数据来判断MPCVD设备是否出现异常情况，并针