一种体声波谐振器阵列及其制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118100857 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410284021.4 (22)申请日 2024.03.13 (71)申请人 睿思微系统（烟台）有限公司 地址 264006 山东省烟台市经济技术开发 区贵阳大街13号1#厂房 (72)发明人 张标　陈高鹏　 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 专利代理师 杨华 (51)Int.Cl. H03H 9/205 (2006.01) H03H 9/56 (2006.01) H03H 9/58 (2006.01) H03H 3/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图5页 (54)发明名称 一种体声波谐振器阵列及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种体声波谐振器阵列及其 制备方法，应用于体声波谐振器技术领域，包括 多个体声波谐振器；相邻体声波谐振器之间设置 有电极连接部，电极连接部连接相邻体声波谐振 器中位于压电层同一侧的电极，电极连接部的厚 度大于连接电极的厚度。通过增加位于相邻体声 波谐振器之间的，用于连接相邻体声波谐振器的 电极连接部的厚度，可以使相邻体声波谐振器之 间具有较低的欧姆损耗，进而增加谐振器的Q值， 提升滤波器的性能。 A 7 5 8 0 0 1 8 1 1 N C CN 118100857 A