一种MAX相涂层的低温制备方法及其应用

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116219381 A (43)申请公布日 2023.06.06 (21)申请号 202211603528.9 (22)申请日 2022.12.13 (71)申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研 究所 地址 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大 道519号 (72)发明人 汪爱英　周广学　王振玉　陈仁德　 王丽　 (74)专利代理机构 南京利丰知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32256 专利代理师 何胜男　王锋 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图9页 (54)发明名称 一种MAX相涂层的低温制备方法及其应用 (57)摘要 本发明公开了一种MAX相涂层的低温制备方 法及其应用。所述低温制备方法包括：提供基体； 以及，采用直流磁控溅射复合双靶高功率脉冲磁 控溅射技术，在所述基体表面沉积形成MAX相涂 层；其中，所述直流磁控溅射技术中采用的靶材 为Al靶，所述双靶高功率脉冲磁控溅射技术中采 用的双靶靶材分别为金属靶和C靶，所述金属靶 选自Ti靶、Cr靶或V靶，且金属靶、C靶、Al靶中任 意两靶之间的磁场为磁铁极性相反的闭合磁场 或磁铁极性相同的镜面磁场；沉积温度为350～ 500℃。本发明