原创力.专利
GaN基板晶片及其制造方法
- 申请专利号：CN202080040339.8
- 公开（公告）日：2025-05-13
- 公开（公告）号：CN113906170A
- 申请人：三菱化学株式会社
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113906170 A (43)申请公布日 2022.01.07 (21)申请号 202080040339.8 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 (22)申请日 2020.05.28 代理人 杨薇 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-101184 2019.05.30 JP C30B 29/40 (2006.01) 2019-113570 2019.06.19 JP C30B 25/18 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 29/06 (2006.01) 2021.11.30 H01L 29/66 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 29/778 (2006.01) PCT/JP2020/021133 2020.
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