一种辅助蒸镀装置和蒸镀坩埚

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116121711 A (43)申请公布日 2023.05.16 (21)申请号 202310326096.X (22)申请日 2023.03.30 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 申请人 重庆京东方显示技术有限公司 (72)发明人 田力　李坚　张金中　廖先江　 李云辉　朱伍权　杨正宇　贾克飞　 田多亮　蒲俊　李毓威　张永华　 (74)专利代理机构 北京天昊联合知识产权代理 有限公司 11112 专利代理师 魏艳新　姜春咸 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图5页 (54)发明名称 一种辅助蒸镀装置和蒸镀坩埚 (57)摘要 本公开提供一种辅助蒸镀装置和蒸镀装置， 用于蒸镀坩埚中，所述辅助蒸镀装置包括 ：容纳 结构，所述容纳结构包括底壁及其连接的侧壁 ； 盖板，所述盖板与所述容纳结构的底壁、侧壁围 成容纳空间 ；所述底壁和所述盖板均为网格结 构；多个挡板，设置在所述容纳空间中，所述多个 挡板将所述容纳空间分隔成多个容纳子空间。 A 1 1 7 1 2 1 6 1 1 N C CN 116121711 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种辅助蒸镀装置，用于蒸