冲洗装置
- 申请专利号:CN202080030354.4
- 公开(公告)日:2024-09-27
- 公开(公告)号:CN113728273A
- 申请人:富士胶片株式会社
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113728273 A (43)申请公布日 2021.11.30 (21)申请号 202080030354.4 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.04.06 代理人 刘建 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-082795 2019.04.24 JP G03F 7/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/30 (2006.01) 2021.10.21 H01L 21/027 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/015487 2020.04.06 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/217944 JA 2020.10.29 (71)申请人 富士胶片株式会社 地址 日本国东京都 (72)发明人 曾根信幸 桥谷学 池山