一种石墨烯形貌控制方法、SERS薄膜及检测应用2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117756104 A (43)申请公布日 2024.03.26 (21)申请号 202311548640.1 (22)申请日 2023.11.20 (71)申请人 宁波大学 地址 312500 浙江省宁波市江北区风华路 818号 (72)发明人 王刚　王冰坤　许文武　吴慧娟　 张金秋　连山水　张珊　张光临　 (74)专利代理机构 杭州五洲普华专利代理事务 所(特殊普通合伙) 33260 专利代理师 丁少华 (51)Int.Cl. C01B 32/186 (2017.01) B82Y 40/00 (2011.01) G01N 21/65 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图11页 (54)发明名称 一种石墨烯形貌控制方法、SERS薄膜及检测 应用 (57)摘要 本发明提供了一种石墨烯形貌控制方法、 SERS薄膜及检测应用，包括：将衬底放置在石英 管中，并抽真空；对石英管内部通入氢气和氩气， 而后加热至T ，其中600℃≥T ≥500℃；石英管 1 1 内停止通入氢气和氩气，启动等离子体源，并且 开始通入甲烷，以在衬底上生长得到石墨烯基 体；关闭等离子体源，停止通入甲烷；将石英管内 部加热至T ，其中800℃≥T ≥700℃，而后开始 2 2 同时通入甲烷和氨气，启动等离子体源并将功率