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PCT发明

膜结构、换能器装置和制造膜结构的方法

2022-10-24 10:20:17 发布于四川 11
  • 申请专利号：CN202080071552.5
  • 公开（公告）日：2025-04-25
  • 公开（公告）号：CN114946197A
  • 申请人：AMS国际有限公司
摘要：一种膜结构(1)包括具有主表面(4)和后部表面(24)的基底(2)。多个支柱(10)被设置在基底(2)的主表面(4)上并且具有背离基底(2)的主表面(4)的支撑区域(12)。薄膜结构(6)被设置在基底(2)的主表面(4)和支柱(10)上方，其中薄膜结构(6)包括多个升高部(15)，升高部与基底(2)之间的间隔大于薄膜结构的至少一个下部(16)与基底(2)之间的间隔。升高部(15)均包括至少一个突出部分(13)，突出部分(13)为中空的并且具有底部部分(14)和侧壁(22)，并且突出部分(13)朝向基底(2)延伸。每个突出部分(13)的底部部分(14)分别机械连接到支柱(10)之一的支撑区域(12)。后空间(5)由基底(2)的主表面(4)与薄膜结构(6)之间的空间形成。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114946197 A (43)申请公布日 2022.08.26 (21)申请号 202080071552.5 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事 务所(普通合伙) 11413 (22)申请日 2020.09.01 专利代理师 侯丽英　刘继富 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 19197358.5 2019.09.13 EP H04R 7/12 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H04R 31/00 (2006.01) 2022.04.12 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/074365 2020.09.01 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/047962 EN 2021.03.18 (71)申请人 AMS国际有限公司 地址 瑞士尤纳 (72)发明人 皮特 ·赫布　米歇尔 ·穆勒　 戈兰 ·斯托扬诺维奇　

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