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发明

正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法和应用

2023-08-31 08:43:27 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202310618190.2
  • 公开（公告）日：2024-12-20
  • 公开（公告）号：CN116655913A
  • 申请人：厦门恒坤新材料科技股份有限公司
摘要：本发明提供一种正性光刻胶用聚酰亚胺树脂，按重量百分比，包括聚酰亚胺前驱体(PAA)75‑92.5％，超支化链前聚体11.5‑15.5％，光致酸剂1.2‑4.5％；所述聚酰亚胺前驱体(PAA)通过含氟二胺单体和含氟二酐单体聚合制得；所述超支化链前聚体为链式超支化烯基叔丁酯，所述链式超支化烯基叔丁酯由多元醇与烯基叔丁酯聚合制得。通过超支化聚合PAA、超支化链前聚体/共混光致酸剂或超支化聚合PAA、光致酸剂、超支化链前聚体得到两种链式结构的低Tg值、耐化的含氟聚酰亚胺树脂。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116655913 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310618190.2 H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/48 (2006.01) (22)申请日 2023.05.29 (71)申请人 厦门恒坤新材料科技股份有限公司 地址 361027 福建省厦门市海沧区东孚镇 山边路389号 (72)发明人 毛鸿超　李禾禾　王静　陈晓东　 肖楠　 (74)专利代理机构 厦门荔信律和知识产权代理 有限公司 35282 专利代理师 张东明 (51)Int.Cl. C08G 73/10 (2006.01) G03F 7/32 (2006.01) G03F 7/039 (2006.01) G03F 7/004 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法 和应用 (57)摘要 本发明提供一种正性光刻胶用聚酰亚胺树 脂，按重量百分比 ，包括聚酰亚胺前驱体 (PAA) 75‑92.5％，超支化链前聚体11 .5‑15.5％，光致 酸剂1.2‑4.5％；所述聚酰亚胺前驱体(PAA)通过 含氟二胺单体和含氟二酐单体聚合制得；所述超 支化链前聚

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