极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件及其使用方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113759673 A (43)申请公布日 2021.12.07 (21)申请号 202111049711.4 (22)申请日 2021.09.08 (30)优先权数据 63/084,283 2020.09.28 US 17/345,242 2021.06.11 US (71)申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力 行六路八号 (72)发明人 蔡明训　罗煜发　简上傑　 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理 有限公司 11006 代理人 徐金国 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书14页 附图15页 (54)发明名称 极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件 及其使用方法 (57)摘要 极紫外光室、用于与极紫外光室使用的组件 及其使用方法在此叙述。组件包括环体结构。环 体结构包括外环体及于外环体径向之内的内环 体。组件还包括真空接口，其用以连接且接触内 环体，其中内环体具有开口，开口的大小可调整 使一个装置可穿过并进入真空接口。 A 3 7 6 9 5 7 3 1 1 N C CN 113759673 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种用于与一极紫外光室使用的组件，其特征在于，包含：