一种方便清洁的高密封性观察窗玻璃2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 221032333 U (45)授权公告日 2024.05.28 (21)申请号 202323068810.4 (22)申请日 2023.11.14 (73)专利权人 上海格意光电材料有限公司 地址 201702 上海市青浦区双联路158号1 幢11层M区1181室 (72)发明人 周云飞　周诗琼　赵要时　钟少凯　 (74)专利代理机构 上海九川知产专利代理事务 所(特殊普通合伙) 31491 专利代理师 王群 (51)Int.Cl. E06B 7/30 (2006.01) E06B 3/58 (2006.01) E06B 7/16 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) A47L 25/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)实用新型名称 一种方便清洁的高密封性观察窗玻璃 (57)摘要 本实用新型属于半导体加工技术领域，尤其 为一种方便清洁的高密封性观察窗玻璃，包括门 板，还包括设置在门板一侧的清理组件，所述清 理组件包括玻璃窗口、控制磁条、导向杆、从动磁 块、稳定臂、挡板、清洁条和弹簧，所述门板的内 表面固定安装有所述玻璃窗口，本装置通过清理 组件的工作能够在玻璃窗口的内侧产生污渍而 无法顺利观察内部加工情况时有效且便捷的对 遮挡物进行清理，同时还不用将玻璃窗口打开清 理，避免了元件加工延误的情况发生，通过密