发明

蓝宝石晶体生长炉2024

2023-10-31 07:31:04 发布于四川 1
  • 申请专利号:CN202311202075.3
  • 公开(公告)日:2024-03-12
  • 公开(公告)号:CN116949559A
  • 申请人:内蒙古晶环电子材料有限公司|||宁夏鑫晶盛电子材料有限公司|||浙江晶盛机电股份有限公司
摘要:本发明涉及一种蓝宝石晶体生长炉,该蓝宝石晶体生长炉包括:炉体,具有炉盖和炉室;蓝宝石提拉轴,包括上分轴和下分轴,上分轴穿设于炉盖,下分轴至少部分位于炉室内且与上分轴可活动地连接;波纹管,套设于上分轴;及动力单元,设于炉体,具有推动下分轴相对上分轴向下移动的触发状态。当需要引晶时,保持上分轴静止,同时动力单元进入触发状态而推动下分轴向下移动,以使籽晶接触熔汤,启动蓝宝石晶体的生长过程,实现引晶。由于波纹管套设于上分轴,在引晶过程中,下分轴的移动不会牵动波纹管,不会导致波纹管发生压缩,从而防止波纹管内较冷的气体进入炉室内而影响炉室内的热场分布,进而避免对蓝宝石晶体的生长产生不利影响。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116949559 A (43)申请公布日 2023.10.27 (21)申请号 202311202075.3 (22)申请日 2023.09.18 (71)申请人 内蒙古晶环电子材料有限公司 地址 010000 内蒙古自治区呼和浩特市金 桥经济开发区工业二区宝力尔街 申请人 宁夏鑫晶盛电子材料有限公司  浙江晶盛机电股份有限公司 (72)发明人 石刚 宋建军 王立军 冯当朝  (74)专利代理机构 杭州华进联浙知识产权代理 有限公司 33250 专利代理师 蒋豹 (51)Int.Cl. C30B 17/00 (2006.01) C30B 29/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书14页 附图16页 (54)发明名称 蓝宝石晶体生长炉 (57)摘要 本发明涉及一种蓝宝石晶体生长炉,该蓝宝 石晶体生长炉包括:炉体,具有炉盖和炉室;蓝宝 石提拉轴,包括上分轴和下分轴,上分轴穿设于 炉盖,下分轴至少部分位于炉室内且与上分轴可 活动地连接 ;波纹管 ,套设于上分轴;及动力单 元,设于炉体,具有推动下分轴相对上分轴向下 移动的触发状态。当需要引晶时,保持上分轴静 止,同时动力单元进入触发状态而推动下分轴向 下移动,以使籽晶接触熔汤,启动蓝宝石晶体的 生长过程,实现引晶。由于波纹管套设于上分轴, 在引晶过程中 ,下分轴的移动不会牵动波纹管, 不会导致波纹管发生压缩,从而防止波纹管

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