一种高频声波谐振器及其制备方法2025

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118074658 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202410132170.9 (22)申请日 2024.01.30 (71)申请人 上海馨欧集成微电有限公司 地址 201899 上海市嘉定区菊园新区环城 路2222号6幢101室J (72)发明人 张丽萍　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 苗芬芬 (51)Int.Cl. H03H 9/05 (2006.01) H03H 9/08 (2006.01) H03H 9/02 (2006.01) H03H 3/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图8页 (54)发明名称 一种高频声波谐振器及其制备方法 (57)摘要 本申请涉及谐振器技术领域，特别涉及一种 高频声波谐振器及其制备方法。本申请的高频声 波谐振器包括依次堆叠设置的第一支撑衬底、反 射层、压电膜和电极。其中，反射层是通过对基础 材料体进行离子注入改性形成的；至少包括沿第 一支撑衬底的厚度方向层叠设置的一层低声速 反射层和一层高声速反射层。反射层能够对高声 速声波的能量进行层层反射，将高声速的声波能 量约束在压电层和反射层内部，防止高声速声波 的能量向第一支撑衬底泄露造成损耗。实现对高 声速和大机电耦合系数声波模式的有效激发，制 得高频、大带宽的声波谐振器。 A 8 5 6