一种旋转靶材涂布方法2026

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118080287 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202311722019.2 (22)申请日 2023.12.14 (71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公司 地址 511518 广东省清远市高新区百嘉工 业园27-9号A区 (72)发明人 林昊　刘毅华　余芳　刘佰玲　 裴炜炀　 (74)专利代理机构 北京天盾知识产权代理有限 公司 11421 专利代理师 肖小龙 (51)Int.Cl. B05D 1/00 (2006.01) B05B 13/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种旋转靶材涂布方法 (57)摘要 本发明属于靶材涂布技术领域，公开了一种 旋转靶材涂布方法。包括以下步骤：清洗旋转靶 材；使用清洁剂将旋转靶材的表面擦拭干净；根 据内控标准对旋转靶材外观、尺寸进行检测，判 断是否合格；旋转靶材检测合格后，使用旋转靶 材涂布夹具进行装夹；进行预热，使用超声波方 式进行涂布；旋转靶材涂布夹具包括相对设置的 两个固定端环和连接两个固定端环的螺杆，所述 固定端环为圆环结构，每个圆环结构上设有供螺 杆穿过的通孔，两个圆环结构相对端的内侧设置 有环形台阶，相对设置的环形台阶之间形成装夹 旋转靶材的容纳空间。本发明流程简单、操作简 A 便，配合旋转靶材涂布夹具，能有效地减少旋转 7 靶材在涂布工序的不良率，减