电阻式蒸发舟结构2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118086838 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202311865895.0 (22)申请日 2023.12.29 (71)申请人 浙江柔震科技有限公司 地址 314400 浙江省嘉兴市海宁市斜桥镇 新合路6号1幢B区 (72)发明人 刘志康　伽龙　吴明忠　焦鑫鹏　 殷国峰　 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) C23C 14/26 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 电阻式蒸发舟结构 (57)摘要 本发明公开了一种电阻式蒸发舟结构，包 括：舟体，其设置第一夹持端和第二夹持端，本实 施例中设置于舟体两端，用于与电极接触；蒸发 区，设置在舟体的蒸发侧，用于承载并加热蒸发 金属液；若干槽体，间隔的形成在蒸发区表面，其 沿蒸发区的宽度方向设置；以及，形成覆盖槽体 的涂层结构，涂层结构包括第一耐蚀层，第一耐 蚀层中包含有导电颗粒，其导电颗粒含量高于舟 体，并作为舟体表面的保护层。本发明基于开槽 及涂层结构，可形成舟体导电颗粒的形成的屏 障，在涂层失效后，进一步减缓熔融靶材液将脱 离的导电颗粒向两侧冲刷，作为导电颗粒的停留 A 空间，并提供导电颗粒的补充，延缓舟体的失效 8 时间。 3 8 6 8 0 8 1 1 N C CN 118086838 A 权　利　要　求　书