一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219286879 U (45)授权公告日 2023.06.30 (21)申请号 202321411320.7 (22)申请日 2023.06.05 (73)专利权人 福建慧芯激光科技有限公司 地址 362100 福建省泉州市惠安县惠安县 螺阳镇城南工业区站前路19号 (72)发明人 柯程　薛婷　季晓明　王坤　 鄢子闻　糜东林　吴建忠　 (74)专利代理机构 泉州市博一专利事务所(普 通合伙) 35213 专利代理师 苏秋桂 (51)Int.Cl. H01S 5/12 (2021.01) H01S 5/30 (2006.01) H01S 5/343 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (54)实用新型名称 一种用于激光雷达的稳波长边发射激光器 (57)摘要 本实用新型公开了一种用于激光雷达的稳 波长边发射激光器 ，涉及边发射激光器技术领 域，包括衬底以及设置于衬底上方的外延层和体 光栅；外延层包括由下至上依次设置的缓冲层、 有源区和帽层，且外延层沿其x方向的两端分别 为出光端和背光端；外延层在其出光端或者背光 端刻蚀有一让位台阶，该让位台阶的深度由帽层 延伸至有源区以下；体光栅的高折射材料和低折 射率材料沿x方向交替设置于让位台阶处。本实 用新型将体光栅集成设置于边发射激光器内部， 集成度极高，设置于器件内部的体光栅使得只有 满足布拉格条件的光波长才能实现出