一种低能高速扫描电子束成像系统2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117096004 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310870743.3 (22)申请日 2023.07.14 (71)申请人 无锡亘芯悦科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区景贤路6 号H3栋 (72)发明人 于文霞　葛子银　王猛　 (74)专利代理机构 哈尔滨市阳光惠远知识产权 代理有限公司 23211 专利代理师 吕永芳 (51)Int.Cl. H01J 37/28 (2006.01) H01J 37/147 (2006.01) H01J 37/141 (2006.01) H01J 37/04 (2006.01) H01J 37/12 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图7页 (54)发明名称 一种低能高速扫描电子束成像系统 (57)摘要 本发明公开了一种低能高速扫描电子束成 像系统，属于扫描电子束成像设备领域。所述系 统通过合理设计静电正压电极筒与浸没式电磁 复合物镜对电子束的作用方式，解决低能成像分 辨率低的问题；在物镜极靴下方与样品台之间设 计静电扫描电极，以及在镜筒内部合理的设计电 子束偏转装置，实现高速扫描偏转；同时在电子 束成像系统中设计电子束对中调节系统，在实现 低能电子束高分辨成像、高速扫描、大视场成像 的前提下，同时可以使扫描电子束成像系统的轴 外像差以及偏转像差得到