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PCT发明

气相表面改性

2023-05-17 11:50:33 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080085084.7
  • 公开（公告）日：2024-10-01
  • 公开（公告）号：CN114829669A
  • 申请人：宽腾矽公司
摘要：本申请的方面提供了生产具有改性表面的基底的方法。在一些方面，表面改性的方法包括用气相的有机试剂处理基底表面，以在该表面上形成有机层。在一些方面，提供了在氧化表面上形成稳定表面涂层的方法。使用了有机磷酰卤。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114829669 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202080085084.7 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 (22)申请日 2020.10.09 专利代理师 刘明海　胡彬 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/914,356 2019.10.11 US C23C 16/02 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 C23C 16/00 (2006.01) 2022.06.08 B05D 1/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 C23C 16/455 (2006.01) PCT/US2020/055052 2020.10.09 C23C 16/04 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/072245 EN 2021.04

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