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发明

一种导电TeOX旋转靶材及其制备方法

2023-06-02 13:05:45 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202110728658.4
  • 公开（公告）日：2023-05-30
  • 公开（公告）号：CN113666717A
  • 申请人：先导薄膜材料有限公司
摘要：本发明涉及一种导电TeOX旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：（1）将Te粉末和TeO2粉末混合均匀，得到混合料；（2）将石墨模具喷上脱模剂后再涂抹上一层氮化硼粉体，然后将步骤（1）得到的混合料装入石墨模具中进行热压，降温出炉，即得TeOX旋转靶材。本发明同时提出采用该制备方法所制备得到的TeOX旋转靶材。TeO2在高温下会与具有还原性的脱模剂反应，因此本发明在脱模剂与粉体的接触面涂抹了一层氮化硼粉体。通过本发明的方法制备得到的靶材，其相对密度大于90%、纯度大于5N、电阻率小于2000Ω•cm。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113666717 A (43)申请公布日 2021.11.19 (21)申请号 202110728658.4 (22)申请日 2021.06.29 (71)申请人 先导薄膜材料有限公司 地址 230012 安徽省合肥市新站区龙子湖 路与通淮南路交口西北角 (72)发明人 吴彩红　文崇斌　 (51)Int.Cl. C04B 35/01 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) C04B 35/645 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种导电TeO 旋转靶材及其制备方法 X (57)摘要 本发明涉及一种导电TeO 旋转靶材的制备 X 方法，包括以下步骤：（1）将Te粉末和TeO 粉末混 2 合均匀，得到混合料；（2）将石墨模具喷上脱模剂 后再涂抹上一层氮化硼粉体，然后将步骤（1）得 到的混合料装入石墨模具中进行热压，降温出 炉，即得TeO 旋转靶材。本发明同时提出采用该 X 制备方法所制备得到的TeO 旋转靶材。TeO 在高 X

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