烧结设备及其气氛可控的压力烧结机构

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114608311 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210080776.3 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2022.01.24 (71)申请人 快克智能装备股份有限公司 地址 213164 江苏省常州市武进高新技术 产业开发区凤翔路11号 申请人 清华大学 (72)发明人 杨友志　邹贵生　戚国强　刘磊　 刘元　王文淦　许建磊　王帅奇　 潘兵　黄辰潇　吴永超　杜荣葆　 (74)专利代理机构 常州市英诺创信专利代理事 务所(普通合伙) 32258 专利代理师 李楠 (51)Int.Cl. F27B 5/05 (2006.01) F27B 5/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图9页 (54)发明名称 烧结设备及其气氛可控的压力烧结机构 (57)摘要 本发明涉及烧结设备技术领域，尤其是一种 烧结设设备及其气氛可控的压力烧结机构，该气 氛可控的压力烧结机构包括伸缩管、加压组件及 加热组件，伸缩管至少存在一部分为能够弹性伸 缩的波纹管段，伸缩管配置在两个加压组件之 间，由于伸缩管具有能够弹性伸缩的波纹管段， 故而伸缩管的弹性模量很低，对于小压力工作范 围，伸缩管能够以较小的压力密封形成的烧结 腔，同时在伸缩管能够弹性伸缩的特性影响下，