一种气体分配装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116641041 A (43)申请公布日 2023.08.25 (21)申请号 202310508822.X (22)申请日 2023.05.06 (71)申请人 拓荆科技(上海)有限公司 地址 201306 上海市浦东新区中国 （上海） 自由贸易试验区临港新片区鸿音路 1211号10幢304室 (72)发明人 魏有雯　吴凤丽　董文惠　郭月　 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 专利代理师 徐伟 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 一种气体分配装置 (57)摘要 本发明提供了一种气体分配装置，包括 ：形 状为多面立方体的集成歧管，该多面立方体包括 多个进气面和一个输出面，每个该进气面及该输 出面上分别设有多个第一进气口和多个输出口， 该集成歧管的内部设有多条相互独立的气道以 使得该进气面上的每个第一进气口与该输出面 上的一个输出口相连通。 A 1 4 0 1 4 6 6 1 1 N C CN 116641041 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种气体分配装置，包括：形状为多面立方体的集成歧管，所述多面立方体包括多个 进气面和一个输出面，每个所述进气面及所述输出面上分别设有多个第一