一种TiAlSiCeN复合涂层、刀具及其制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115125495 A (43)申请公布日 2022.09.30 (21)申请号 202210791013.X (22)申请日 2022.07.05 (71)申请人 苏州六九新材料科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市漕湖街道春兴 路45号平谦国际（苏相）产业园二期K 栋5楼西侧 (72)发明人 张凤戈　孟晓亭　魏铁峰　缪磊　 姚伟　 (74)专利代理机构 北京五洲洋和知识产权代理 事务所(普通合伙) 11387 专利代理师 荣红颖　马士精 (51)Int.Cl. C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图1页 (54)发明名称 一种TiAlSiCeN复合涂层、刀具及其制备方 法 (57)摘要 本发明提供一种TiAlSiCeN复合涂层、沉积 TiAlSiCeN复合涂层的刀具及其制备方法。所述 TiAlSiCeN复合涂层包括：在所述复合涂层厚度 方向上依次层叠设置的TiAlN结合层、TiAlSiN中 间层、TiAlSiCeN顶层；本发明的TiAlSiCeN复合 涂层具有结合强度高、硬度高、韧性好，抗氧化性 能优异等特点；本发明的TiAlSiCeN复合涂层可 在高速干式切削刀具中作为涂层应用。 A 5 9 4 5 2 1 5 1 1 N C CN 115125495 A