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基板上下料装置和电化学沉积设备

2023-05-14 10:01:32 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202111260062.2
  • 公开(公告)日:2024-10-18
  • 公开(公告)号:CN116043309A
  • 申请人:京东方科技集团股份有限公司
摘要:本公开实施例提供一种基板上下料装置和电化学沉积设备,所述基板上下料装置用于在基板载具上装卸基板,所述装置包括:支撑架,用于支撑基板载具的承载板;推动结构,设置在支撑架上,推动结构包括多个推动单元,多个推动单元中的每个用于固定基板载具的盖板,并沿基板载具的厚度方向移动盖板,使盖板与承载板接触或分离,多个推动单元对盖板的推动互不影响。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116043309 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202111260062.2 (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 (72)发明人 闫俊伟 袁广才 孙少东 王成飞  董士豪 张国才  (74)专利代理机构 北京天昊联合知识产权代理 有限公司 11112 专利代理师 魏艳新 姜春咸 (51)Int.Cl. C25D 17/00 (2006.01) C25D 17/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图9页 (54)发明名称 基板上下料装置和电化学沉积设备 (57)摘要 本公开实施例提供一种基板上下料装置和 电化学沉积设备,所述基板上下料装置用于在基 板载具上装卸基板,所述装置包括:支撑架,用于 支撑基板载具的承载板;推动结构,设置在支撑 架上,推动结构包括多个推动单元,多个推动单 元中的每个用于固定基板载具的盖板,并沿基板 载具的厚度方向移动盖板,使盖板与承载板接触 或分离,多个推动单元对盖板的推动互不影响。 A 9 0 3 3 4 0 6 1 1 N C CN 116043309 A 权 利 要 求 书 1/2页 1.一种基板上下料装置,用于在基板载具上装

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