基板上下料装置和电化学沉积设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116043309 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202111260062.2 (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 (72)发明人 闫俊伟　袁广才　孙少东　王成飞　 董士豪　张国才　 (74)专利代理机构 北京天昊联合知识产权代理 有限公司 11112 专利代理师 魏艳新　姜春咸 (51)Int.Cl. C25D 17/00 (2006.01) C25D 17/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图9页 (54)发明名称 基板上下料装置和电化学沉积设备 (57)摘要 本公开实施例提供一种基板上下料装置和 电化学沉积设备，所述基板上下料装置用于在基 板载具上装卸基板，所述装置包括：支撑架，用于 支撑基板载具的承载板；推动结构，设置在支撑 架上，推动结构包括多个推动单元，多个推动单 元中的每个用于固定基板载具的盖板，并沿基板 载具的厚度方向移动盖板，使盖板与承载板接触 或分离，多个推动单元对盖板的推动互不影响。 A 9 0 3 3 4 0 6 1 1 N C CN 116043309 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种基板上下料装置，用于在基板载具上装