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发明

用于制造结晶膜的方法

2023-05-18 12:52:44 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202210479527.1
  • 公开（公告）日：2024-12-06
  • 公开（公告）号：CN114836833A
  • 申请人：株式会社FLOSFIA|||国立研究开发法人物质·材料研究机构
摘要：根据本发明的方面，用于制造结晶膜的方法包括气化金属源以将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中到基板上；以及将反应气体供应到反应室中到基板上，以在反应气体的气流下形成结晶膜。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114836833 A (43)申请公布日 2022.08.02 (21)申请号 202210479527.1 (51)Int.Cl. C30B 29/16 (2006.01) (22)申请日 2018.08.20 C30B 25/16 (2006.01) (30)优先权数据 C30B 25/18 (2006.01) 2017-158305 2017.08.21 JP C30B 25/04 (2006.01) (62)分案原申请数据 201810948015.9 2018.08.20 (71)申请人 株式会社FLOSFIA 地址 日本京都 申请人 国立研究开发法人物质 ·材料研究 机构 (72)发明人 大岛佑一　河原克明　四户孝　 松田时宜　人罗俊实　 (74)专利代理机构 北京德琦知识产权代理有限 公司 11018 专利代理师 王东贤　朴圣洁 权利要求书2页 说明书15页 附图7页 (54)发明名称 用于制造结晶膜的方法 (57)摘要

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