舱门锁紧装置及包括其的腔室

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116427792 A (43)申请公布日 2023.07.14 (21)申请号 202310286483.5 (22)申请日 2023.03.22 (71)申请人 北京中科重仪半导体科技有限公司 地址 100085 北京市海淀区学清路8号科技 财富中心A座3A09 (72)发明人 李书田　胡晓海　 (74)专利代理机构 北京成创同维知识产权代理 有限公司 11449 专利代理师 蔡纯　刘静 (51)Int.Cl. E05B 65/00 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图5页 (54)发明名称 舱门锁紧装置及包括其的腔室 (57)摘要 本发明公开了一种舱门锁紧装置及包括其 的腔室。根据本发明实施例的舱门锁紧装置包括 第一连接机构，与舱门相连接 ；以及第二连接机 构，与所述第一连接机构相匹配，并与舱门座相 连接，其中，所述第一连接机构包括连接单元和 锁紧单元；所述连接单元与所述第二连接机构相 连接以锁定所述舱门和所述舱门座；在所述舱门 和所述舱门座锁定后，所述锁紧单元移动所述连 接单元以锁紧所述连接单元与所述第二连接机 构的连接 ，并压紧所述舱门和所述舱门座的连 接。根据本发明实施例的舱门锁紧装置及包括其 的腔室，锁紧方式简便高效且牢靠。 A 2 9 7 7 2 4 6 1 1 N C CN 116427792 A