靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113375463 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110742009.X (22)申请日 2021.06.30 (71)申请人 广州市尤特新材料有限公司 地址 510880 广东省广州市花都区花山镇 华侨科技工业园华辉路4号 (72)发明人 周昭宇　周志宏　 肖世洪　雷雨　 汪政军　 (74)专利代理机构 广州永华专利代理有限公司 44478 代理人 劳觅 (51)Int.Cl. F27B 17/00 (2006.01) C04B 35/64 (2006.01) 权利要求书2页 说明书3页 附图2页 (54)发明名称 靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材 的烧结方法 (57)摘要 本发明涉及靶材生坯摆放用布粉器、定位件 及旋转靶材的烧结方法，在承烧板上用辅助滑动 粉堆出顶部具有斜坡的粉堆，再把旋转靶材生坯 摆放到粉堆的斜坡上。烧结时，靶材生坯收缩会 带动氧化铝粉堆相对承烧板沿径向向内移动，从 而使旋转靶材生坯和承烧板之间的水平静摩擦 力转变为滑动摩擦力，辅助滑动粉形成粉堆后的 滑动效果要优于现有技术平铺一层的滑动效果， 能更好地降低靶材与承烧板之间的摩擦阻力，减 小靶材生坯收缩时产生的摩擦阻力，防止由摩擦 阻力导致的靶材不规则变形和开裂。 A 3 6 4 5 7 3 3 1 1 N C CN 11337546