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PCT发明

基板图案填充组合物及其使用

2023-07-05 07:05:03 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080029342.X
  • 公开（公告）日：2024-03-08
  • 公开（公告）号：CN113785041A
  • 申请人：默克专利有限公司
摘要：本发明提供一种能够抑制图案倒塌的基板图案填充组合物及使用其的方法。一种基板图案填充组合物，包括(A)第一溶质、(B)第二溶质和(C)溶剂。还提供了使用其的方法。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113785041 A (43)申请公布日 2021.12.10 (21)申请号 202080029342.X (74)专利代理机构 北京三幸商标专利事务所 (普通合伙) 11216 (22)申请日 2020.04.15 代理人 刘卓然 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-079906 2019.04.19 JP C11D 11/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 21/02 (2006.01) 2021.10.15 H01L 21/306 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 21/304 (2006.01) PCT/EP2020/060533 2020.04.15 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/212389 EN 2020.10.

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